近日,继为高端存储芯片产线提供多位一体的薄膜与光学关键尺寸(Film + OCD)量测解决方案后,匠岭科技厚积薄发,再次为12英寸先进逻辑芯片产线打造了SuperHiK™量测的完整解决方案,深度赋能客户在各关键薄膜量测环节的精准监控,保障高K材料超薄膜工艺的可持续量产,填补了本土化供应链在这个高壁垒环节的空白。
此次,匠岭高端量测机台 TFT70 首次内嵌 SuperHiK™ 的创新方案,顺利出货行业内领先的12英寸集成电路制造产线,进一步见证了匠岭产品生态的技术优势和高质量发展。 匠岭科技坚持在光学量测领域攻坚布局,全面覆盖了前段工艺(FEOL)和后段工艺(BEOL)精准光学量测的多元化需求。
迄今,匠岭科技已在Logic/Foundry、IDM、Memory、Analog & Power等集成电路制造产线,协同部署了多种类量测机台与经验丰富的技术支持团队,量测超百万片晶圆,为客户提供了强有力的供应链支撑和极具优势的商业价值,未来将继续打造具有国际竞争力的光学量检测生态。
关于匠岭
匠岭科技成立于2018年,致力于打造全球领先的半导体量检测设备公司。
匠岭科技总部位于上海临港,在上海张江设有研发中心,在江苏常熟设有制造基地。匠岭科技集研发、制造与产业化为一体,核心产品包括关键薄膜量测设备、OCD量测设备、先进封装5D检测设备等。匠岭科技注重核心技术的自主研发,已率先突破了“关键薄膜与线宽量测”及“Micro-Bump 5D量测”的技术难关,核心产品得到国内外主流晶圆厂与先进封装厂的认可,在建立了良好的客户口碑的同时,持续为客户产线提供不断创新的量检测技术方案。
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